Plasma Cleaners ၏ သီးခြားအသုံးချမှုများ

ပလာစမာ သန့်ရှင်းရေး/ထွင်းထုစက်များသည် လျှပ်စစ်စက်ကွင်းတစ်ခုဖန်တီးရန် အလုံပိတ်ကွန်တိန်နာတစ်ခုတွင် လျှပ်ကူးပစ္စည်းနှစ်ခုကို ထားခြင်းဖြင့် ပလာစမာကို ထုတ်ပေးပါသည်။ အချို့သော လေဟာနယ်အဆင့်ကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် ဖုန်စုပ်ပန့်ကို အသုံးပြုသည်။ ဓာတ်ငွေ့များ ပိုမိုရှားပါးလာသည်နှင့်အမျှ မော်လီကျူးများနှင့် မော်လီကျူးများ သို့မဟုတ် အိုင်းယွန်းများ၏ လွတ်လပ်စွာ ရွေ့လျားမှုကြား အကွာအဝေးသည်လည်း တိုးလာပါသည်။ လျှပ်စစ်စက်ကွင်း၏ လွှမ်းမိုးမှုအောက်တွင်၊ ဤအိုင်းယွန်းများသည် တိုက်မိပြီး ပလာစမာများ ဖြစ်ပေါ်လာသည်။ ဤအိုင်းယွန်းများသည် ဓာတ်ပြုမှု မြင့်မားပြီး ဓာတုနှောင်ကြိုးများအားလုံးကို ချိုးဖျက်ရန် လုံလောက်သော စွမ်းအင်ပါရှိပြီး ထိတွေ့နေသည့် မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ မတူညီသောဓာတ်ငွေ့ပလာစမာများတွင် မတူညီသောဓာတုဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ အောက်ဆီဂျင်ပလာစမာသည် ဓာတ်တိုးမှုအလွန်မြင့်မားပြီး ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်ရန် photoresist များကို oxidizing လုပ်နိုင်သောကြောင့် သန့်စင်မှုအကျိုးသက်ရောက်မှုကိုရရှိစေသည်။ Corrosive gas plasma တွင် etching ၏ လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီသော အလွန်ကောင်းမွန်သော anisotropy ပါရှိသည်။ ပလာစမာ ကုသမှုသည် တောက်ပမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေသည် ၊ ထို့ကြောင့် glow discharge ဟု အမည်ပေးသည်။
ပလာစမာသန့်ရှင်းရေး၏ယန္တရားသည် မျက်နှာပြင်အစွန်းအထင်းများကိုဖယ်ရှားရန် ပလာစမာရှိတက်ကြွသောအမှုန်အမွှားများ၏ "အသက်သွင်းခြင်း" ပေါ်တွင်အဓိကအားကိုးသည်။ တုံ့ပြန်မှုယန္တရားအရ၊ ပလာစမာသန့်ရှင်းရေးသည် ယေဘူယျအားဖြင့် အောက်ပါလုပ်ငန်းစဉ်များ ပါဝင်သည်- inorganic gases များသည် ပလာစမာအခြေအနေသို့ စိတ်လှုပ်ရှားနေပါသည်။ ဓာတ်ငွေ့များကို အစိုင်အခဲမျက်နှာပြင်ပေါ်သို့ စုပ်ယူသည်။ စုပ်ယူထားသောအုပ်စုများသည် ထုတ်ကုန်မော်လီကျူးများဖွဲ့စည်းရန် အစိုင်အခဲမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ မော်လီကျူးများနှင့် တုံ့ပြန်ကြသည်။ ထုတ်ကုန်မော်လီကျူးများသည် ဓာတ်ငွေ့အဆင့်သို့ ပြိုကွဲသွားခြင်း၊ မျက်နှာပြင်မှ တုံ့ပြန်မှု အကြွင်းအကျန်များကို ဖယ်ရှားသည်။

ပလာစမာသန့်ရှင်းရေးနည်းပညာ၏ အထင်ရှားဆုံးသောအင်္ဂါရပ်မှာ သတ္တုများ၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း၊ အောက်ဆိုဒ်များနှင့် ပိုလီမာပစ္စည်းများဖြစ်သည့် polypropylene၊ polyester၊ polyimide၊ polyvinyl chloride၊ epoxy နှင့် polytetrafluoroethylene တို့ကိုပင် သတ္တုအလွှာအမျိုးအစားကို ကုသပေးနိုင်ခြင်းဖြစ်ပါသည်။ ၎င်းသည် မျက်နှာပြင်တစ်ခုလုံးနှင့် သီးခြားနေရာများအပြင် ရှုပ်ထွေးသော ဖွဲ့စည်းပုံများကို သန့်စင်ပေးနိုင်သည်။